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中微公司:第 2000 个 CCP 刻蚀设备反应台付运

2022-08-22 15:01:05
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中微公司指出,本批次运付的CC刻蚀设备反应台有rioAD-RI及rioHD-RI系列产品。其中,rioAD-RI-是中微第二代电介质刻蚀产品rioAD-RI的子产品,将应用于5纳米及以下的前段和中段的掩膜层刻蚀的开发及量产。该交付批次的rioHD-RI则具有六个单反应台腔体的系统,定位于为中高深宽比
中微公司指出,本批次运付的CCP刻蚀设备反应台有PrimoAD-RIE及PrimoHD-RIE系列产品。其中,PrimoAD-RIE-e是中微第二代电介质刻蚀产品PrimoAD-RIE的子产品,将应用于5纳米及以下的前段和中段的掩膜层刻蚀的开发及量产。该交付批次的PrimoHD-RIE则具有六个单反应台腔体的系统,定位于为中高深宽比刻蚀提供综合解决方案。中微公司表示,PrimoHD-RIE在3D-NAND及DRAM中高深宽比沟槽及深孔刻蚀上表现优异,在一些关键制程上已实现量产。亚汇网了解到,数据显示,中微公司2022年上半年新签订单金额同比增长61.83%达到30.57亿元,营业收入同比增长了47.30%达到19.72亿元,扣非归母净利润同比增长了615.26%达到4.41亿元,其中刻蚀设备收入为12.99亿元,较去年同期增长约51.48%。

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