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消息称三星计划量产的 1c DRAM 使用 MOR 光刻胶

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2024-04-30 15:01:53
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指股网注:OR被业内认为是下一代光刻胶(R),会接棒目前先进芯片光刻中的化学放大胶(CAR)。CAR在R分辨率、抗蚀刻性和线边缘粗糙度方面已经无法完全满足未来光刻的需求。三星正考虑在第6代10纳米DRA(1cDRA)中使用OR,主要在六层或七层上使用UVR,相关产品将于今年下半年投
指股网注:MOR被业内认为是下一代光刻胶(PR),会接棒目前先进芯片光刻中的化学放大胶(CAR)。CAR在PR分辨率、抗蚀刻性和线边缘粗糙度方面已经无法完全满足未来光刻的需求。三星正考虑在第6代10纳米DRAM(1cDRAM)中使用MOR,主要在六层或七层上使用EUVPR,相关产品将于今年下半年投入生产。消息称三星正计划向多家供应商采购EUVMOR光刻胶材料,除了Inpria之外杜邦、东进半导体、三星SDI等都在测试开发。广告声明:文内含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考,指股网所有文章均包含本声明。

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